웨이퍼 결함 검출 시스템 | PCIe-5515 디지털 재트리거 기반 고정밀 결함 위치 측정

응용 배경

반도체 제조 공정에서 웨이퍼 품질 관리는 칩 수율을 결정하는 핵심 단계입니다. 웨이퍼 결함 검출 시스템은 제품 품질 보증을 위한 가장 중요한 도구 중 하나입니다.

본 시스템은 비접촉식 레이저 센서를 사용해 웨이퍼 결함을 검출하며, 위치 신호와 센서 신호의 동기화를 통해 결함의 정확한 위치를 특정합니다.

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도전 과제

1. 동기화 정밀도

위치 신호와 센서 신호의 고정밀 동기화가 정확한 결함 검출의 핵심입니다.

• 변위 센서와 레이저 센서가 마이크로초(μs) 단위 정밀도로 협력 동작해야 함
• 동기화가 부족하면 결함 위치 오차 발생 → 검사 결과 신뢰성 저하

2. 데이터 수집 정확도

• 센서 정확도가 1/1000 수준의 고정밀
• 이에 매칭되는 DAQ 장비 요구
• 대용량 고정밀 데이터를 손실 없이 처리하는 능력 필요

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솔루션

이 과제들을 해결하기 위해 JYTEK은 PCIe-5515 + 디지털 재트리거(Digital Re-trigger) 조합을 제공했습니다.

핵심 메커니즘

 

 

[위치 센서] → 디지털 트리거 입력
                ↓
        [PCIe-5515 트리거 발생 순간]
                ↓
        [고속 데이터 수집 시작]
                ↓
        [위치 + 센서 데이터 동시 저장]

1. 디지털 재트리거 기능

• 위치 센서 신호를 PCIe-5515의 디지털 트리거 포트로 입력
• 트리거 발생 시점에 데이터를 즉시 수집
• 결과적으로 위치 신호와 측정 데이터의 완벽한 동기화 달성

2. 5500 시리즈의 고정밀 측정

• 고샘플링 속도에서도 정밀도 유지
• 민감한 센서 신호를 손실 없이 고정밀 수집

3. 신호 처리 최적화

• 필터링 기능 적용
• 데이터 수집의 정확성 및 신뢰성 확보

 

 

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사용 제품

하드웨어

PCIe-5515 — 고정밀 데이터 수집 모듈

• 아날로그 입력: 16채널
• 아날로그 출력: 2채널
• 디지털 I/O: 24채널
• 디지털 재트리거 기능 내장 (정밀 동기 수집 핵심)

 

5500 시리즈 DAQ 모듈

• 고샘플링 속도 + 고정밀
• 민감 센서 신호 수집 최적화

소프트웨어

SeeSharp® — 오픈소스 무료 측정 제어 플랫폼

• C# 기반 강력한 개발 환경
• 타사 대비 라이선스 비용 0

 

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왜 JYTEK 인가?

1. SeeSharp® 측정 제어 플랫폼
강력하면서도 사용하기 쉬운 개발 환경으로 프로젝트 개발 속도 단축

2. 빠른 개발 속도
SeeSharp 기반으로 컨셉부터 실제 적용까지 신속 전환

3. 검증된 제품 신뢰성
장기간 시장 검증 → 안정적인 성능 보장

4. POC(Proof of Concept) 서비스
도입 전 무상 검증으로 사양 적합성 사전 확인

5. 빠른 납기
프로젝트 일정 보장

6. 한국 직접 기술지원
제이와이텍코리아 엔지니어가 현장 대응 + 빠른 응답

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적용 가능 분야

본 솔루션은 다음과 같은 정밀 위치 동기 측정이 필요한 산업에 적용 가능합니다.

• 반도체 웨이퍼 결함 검출 (전공정/후공정)
• 디스플레이 패널 결함 검사 (OLED, 마이크로 LED)
• PCB 자동광학검사 (AOI)
• 정밀 위치 측정 (모션 컨트롤 + 센서 동기)
• 레이저 가공 시스템 모니터링
• 2차전지 셀 외관 검사

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결과

PCIe-5515의 디지털 재트리거 기능과 5500 시리즈 DAQ 모듈을 통해:

• ✅ 위치 신호와 센서 데이터의 마이크로초 단위 동기화 달성
• ✅ 결함의 정밀한 공간 위치 특정 가능
• ✅ 고샘플링 속도에서도 데이터 정확도 유지
• ✅ 개발 프로세스 간소화 + 프로젝트 신속 안착

본 사례는 JYTEK의 제품과 서비스가 단순 측정 장비를 넘어, 고객의 핵심 R&D 과제 해결에 직접 기여하는 가치를 보여줍니다.